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 高壓電源，又名高壓發生器，英文：High voltage power supply,一般是指輸出電壓在五千伏特以上的電源，一般高壓電源的輸出電壓可達幾萬伏，甚至高達幾十萬伏特或更高。直流高壓電源 我們通常所說的高壓電源，一般泛指直流高壓電源，直流高壓電源又有線性調整高壓電源和開關型調整高壓電源兩種。其技術發展方向主要有兩個，一是提高電源功率，即高電壓、高電流；二是縮小電源體積，即高電壓，小體積,縮小電源的體積主要是提高電源的開關頻率。高功率電源，往往體積較大，而小體積電源，往往電流較小，功率較低。除此之外，高轉換效率，高負載，高精度，低紋波，也是高壓電源設計者的研究方向。

 高壓電源用途很多，主要包括了X光機高壓電源，激光高壓電源，光譜分析高壓電源，無損探傷高壓電源，半導體制造設備高壓電源，毛細管電泳高壓電源，無損檢測高壓電源，半導體技術中的粒子注入高壓電源、物理汽相沉積高壓電源(PVD),納米光刻高壓電源。